簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="拋光墊表面粗糙度"


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    修整力量分析於聚氨酯拋光墊修整移除率與表面形貌模擬驗證研究
    • /109/ 碩士
    • 研究生: 楊賴友 指導教授: 陳炤彰
    • 在化學機械平坦化製程中,化學拋光液與晶圓移除之殘碎會導致拋光墊表面產生鈍化的情況,因此透過拋光墊修整將拋光墊表面已鈍化表面移除,維持穩定的晶圓移除率。本研究將探討修整力量下的拋光墊修整移除率與表面形…
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    • 全文公開日期 2024/08/25 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/25 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/25 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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